千代田線用の車両として1968年に登場しました。アルミ車体の20m4ドア車で電機子チョッパ制御を採用し、更新工事を行うことで40年以上使用することを基本に設計されています。1990年までに36編成353両が製造されました。
1988年より冷房化工事が行われました。またB修繕工事も開始され、座席モケット交換・化粧板の張り替え・ドアの交換・2段式ユニット窓化などが行われました。1990年からは制御装置をGTOサイリスタチョッパ、1995年からは3レベルIGBT-VVVFインバータ、2004年からは2レベルIGBT-VVVFインバータに交換しています。2004年以降はモーターの高出力化でMC2の電装解除が行われています。
16000系の登場により2010年度より廃車が始まり、2012年9月で非VVVF車の置き換えが完了しました。一部編成を除きインドネシアへ譲渡されています。2015年度から置き換えが再開され、2018年11月11日をもって営業運転を終了しました。