5000形は1969年から1982年に180両が製造されました。
バーニヤ抵抗制御を採用し、5059F以降は新造時から冷房を装備しています。当初は4両固定での製造でしたが、1978年以降は6両固定での製造となっています。6両固定は4両固定と比べて外観に相違点があるなどするため5200形と呼ばれることがあります。
1990年頃から改修工事が行われ、2001年以降にはパンタグラフの交換も行われました。一部編成ではM3のパンタグラフの撤去が行われています。
3000形・4000形の登場により2006年より廃車が始まりました。一部6両固定は中間2両が抜かれ4両化されました。2011年1月29日・30日に10両でのさよなら運行が行われ、6両固定は引退しました。
残った4両固定も姿を減らし、最後まで残った5063Fも2012年3月16日に営業運転を終了し、3月24日・25日にさよならイベントが行われました。そして4月30日に廃車回送が行われ、5000形は形式消滅となりました。