1000系列は1965年から1991年にかけて106両が製造されました。製造時期や用途により形式が別れており、大きく分けて1000系・1100系・1300系に分類されます。
当初製造された1000系は2扉・回生ブレーキ付きの2両固定編成の1000形を基本に、1968年からは増結用片運転台単行車の1050形が、1974年からは両運転台車の1070形が製造されました。並行するように1969年からは2扉・3両固定編成の1100系1100・1200形が製造されました。うち2両は860形からの編入車です。1971年からは再び2両固定編成が増備され、車体構成は1000形ながら回生ブレーキを省略したため1300形となり、1300系に分類されました。
1975年には利用客増加に対応するため1300形を4両化する中間車1320形が製造され、初めての3扉車となりました。1977年からは1100・1200形を3扉車とした1150・1250形が、1979年には1300形を3扉車とし、初めて冷房を搭載した1350形が製造されました。1991年には最終増備車となる公園都市線対応ワンマン車となる1500・1600形が製造されました。
1983年からは既存車の冷房化が開始され、1070形1074-1076、1100系全車、1300形1309Fが改造を受けました。1986年には増結運用の変更により1050形・1070形のユニット化が行われました。
5000系の増備により1995年から廃車が開始され、まず非冷房の1000形・1050形が置き換えられました。また非冷房の1300形置き換えのため、冷房化されていた1320形の先頭車化が行われ、1370形へと改番されました。これにより1995年度～1997年度に非冷房車32両が廃車となりました。2001年より粟生線4両編成対応及び2003年の粟生線ワンマン化により2+2または1+3での固定編成化が行われました。2007年3月ダイヤ改正で5両運用が減少、2008年には6000系が登場、2009年3月ダイヤ改正で5両運用が廃止になったことで、残っていた非冷房車・非ワンマン車11両が廃車となり、冷房化率100%を達成しました。2013年から2016年には4両運用の減少で1124・1126・1309F・1371F・1074+1111Fが廃車となりました。2016年からは6500系の増備で1100系の廃車が行われています。