デキ100形は1951年から1956年に8両が製造されました。
デキ101は秩父セメントの私有機として製造され、全長12m、自重48tとなっています。デキ102～106は本線用機関車として全長12.6m、自重50t、主電動機の出力強化で1000t貨物列車の牽引が可能となっています。デキ107・デキ108は松尾鉱業鉄道ED501・ED502として1951年に製造され、1972年に秩父鉄道へ譲渡されました。デキ101とほぼ同一構造ながら自重50t、主電動機も出力強化されており、本線で活躍する性能を有しています。
デキ101は1988年よりパレオエクスプレスの補機として活躍しましたが1996年にデキ200へ譲り、長期留置ののち2005年度に廃車となりました。デキ106は2008年2月8日に影森駅構内で脱線転覆し廃車となりました。デキ104は2013年3月に故障し運用離脱しています。